微纳加工技术是信息国家研究中心重点方向材料、器件、芯片、微系统等基础核心技术的必备手段之一，也是世界一流大学高水平研究所必需的支撑条件。为信息国家研究中心完成面向国家重大战略需求的重大项目、发展我国集成电路前沿技术、培养高层次人才提供关键支撑。
微纳加工平台现有超净实验室面积1800m2，各类设备200余台套，资产约3.5亿元。已有一支经验丰富的26人组成的实验技术队伍，并实现7天24小时开放服务。
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