5月21日晚，北京信息科学与技术国家研究中心系列交叉论坛（第五期）在线上举办，本次论坛邀请了中国科学院院士、中国科学院微电子研究所研究员刘明作题为“集成电路多维度创新发展”的报告。清华大学信息学院院长、信息国家研究中心主任戴琼海院士主持会议。信息国家研究中心扩大会成员和团队负责人，以及校内外师生近700人参加会议。

刘明院士作学术报告

刘明院士在报告中回顾了集成电路的发展历程，从工艺制造技术、器件与集成架构、封装与功能集成三个层面探讨了集成电路在以往的发展历史和今后的发展过程中的创新工作。她指出，集成电路在不断缩小尺寸、提高性能和降低成本的发展道路上日趋成熟，尺度持续缩小面临严峻挑战；后摩尔时代集成电路发展呈多元化新发展趋势，新的制造技术、新材料、新结构及三维集成将为集成电路的进一步发展打开更广阔的空间。

与会人员进行深入交流

在提问交流环节，刘明院士和与会人员就二维材料在集成电路领域的发展前景、EUV光刻胶如何进一步提高分辨率（SUb-5nm）、RRAM的应用前景以及相变存储与阻变存储的性价比等问题进行了深入交流与探讨。