光电器件工艺平台

光电子器件是支撑人工智能、物联网、无线通信等前沿技术的基础。平台定位为:以化合物半导体材料为主要基础的材料外延、器件、异质集成系统的加工制作公共服务平台,是世界一流大学高水平研究必需的支撑条件。为信息国家研究中心完成面向国家重大战略需求的重大项目、发展光电智能技术与微纳光电子芯片、培养高层次人才提供关键支撑。

光电器件工艺平台是原集成光电子学国家重点联合实验室实验平台的一部分,具有超净实验室面积约800m2,拥有化合物半导体材料外延生长、芯片制作加工、宽带高频封装以及测试表征等较为完备的工艺链,仪器设备80多台套,资产原值约1.2亿元。已有一支经验丰富的10人组成的实验技术队伍,并实现7天24小时开放服务。

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